ウェーハボート

ウェーハボートは、通常、半導体ウェーハの製造工程において、製造工程の様々な段階でウェーハを取り扱い、保管し、輸送する目的で使用される。 このプロセスはウエハーハンドリングプロセスと呼ばれ、ウエハーをボートにロードし、異なるプロセスチャンバー間でウエハーを移動し、ボートからウエハーをアンロードするなどのいくつかのステップを含みます。 全体として、ウェーハボートの使用は、ウェーハへの損傷を防ぎ、生産プロセス全体で一貫した品質を確保するのに役立ちます。