説明
技術的なパラメーター
説明：
ウェーハカセットキャリアはPFA、PEEK、PP、PEI、PCなどで構成されています
一般的なプロセス用。 ウェーハカセットキャリアで、ステーション間の搬送に使用されます。
高分子複合材料の特性をお客様のニーズに合わせて提供します。
ウェーハカセットキャリアは、ウェーハを保護するために気密保管ボックスと組み合わせることができます。
ESD 材料が提供されます。
工場内の移動に使用します
ウェーハを保護するための気密保管ボックスを使用可能
ウェーハカセットキャリアの特徴：
| 材料 | 耐熱性の程度 | 財産 | 応用 |
| PFAカセット | 200～220度 | 耐強酸、強フッ酸、耐強塩基 | 酸・塩基プロセス用 |
| PPカセット | 40～60度 | 長所：軽量、溶接可能 短所: 歪みやすい |
一般的な転送プロセスの場合 |
| PEEKカセット | 120度 | 高硬度、変形しにくい、高温耐性 | 一般的な転送プロセスの場合 |
| パソコンカセット | 80～100度 | 軽量で溶接も可能 | 一般的な転送プロセスの場合 |
| PEIカセット | 130～150度 | 耐摩耗性、帯電防止性 | 一般的な転送プロセスの場合 |
ウエハカセットキャリア注文情報
| コード | サイズ | パッキング |
| SSPF-WSP-WBOAT-PFA-6 | 6" | 12個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PFA-8 | 8" | 12個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PFA-12 | 12" | 6個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PEEK-6 | 6" | 12個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PEEK-8 | 8" | 12個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PEEK-12 | 12" | 6個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PP-6 | 6" | 12個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PP-8 | 8" | 12個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PEI-6 | 6" | 12個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PEI-8 | 8" | 12個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PC-6 | 6" | 12個 |
| SSPF-WSP-WBOAT-PC-8 | 8" | 12個 |
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