メタルウエハーカセット

製品説明

メタル ウェーハ カセットは、最高 350 度の高温環境で半導体ウェーハを処理するために設計された、精密{0}}設計された全アルミニウム製カセットです。{{2} SEMI規格を満たすように構築されたこの金属カセットは、耐久性と熱性能が強化されており、化学蒸着（CVD）、急速熱処理（RTP）、ウェーハアニーリングなどのプロセスに最適です。

業界標準のプラスチック カセットに一致する外形寸法を備えた金属ウェーハ カセットは、既存のステージおよび搬送自動化システムにシームレスに統合されます。自動化されたアプリケーション用に 25 個のスロットが利用可能です。-メタル ウェーハ カセットは全アルミニウム構造で、表面は硬質透明 (HC) 陽極酸化処理されており、長期にわたる耐摩耗性を保証し、ISO 3 (FS209E クラス 1) のクリーンルーム環境に適しています。-

メタルウェーハカセットを短納期かつ低価格でご提供します。カスタム アプリケーションの場合、真空環境用の無電解ニッケル メッキ (EN)、反転および反転操作用のダブル H- バー、厚い基板用の代替スロット プロファイル、およびエンドウォール ハンドルの有無のオプションを備えたカセットを注文できます。-カスタム構成には、少量の最小注文数量が必要です。

金属ウェーハ カセットは、プラスチック カセットが故障する高温環境に優れており、ベーク プロセス、薄いウェーハと厚いウェーハの精密な取り扱い、高いウェーハ挿入温度に最適です。{0}

ISO9001 認定施設で製造された金属ウェーハ カセットは、品質と信頼性の世界基準を満たしており、半導体プロセス環境におけるウェーハの取り扱いに高性能のソリューションを提供します。{1}

特徴：

最大 350 度の高温処理に対応-

ISO 3 クリーンルームでの耐久性を実現する硬質陽極酸化アルミニウム

カスタム オプション: ニッケル メッキ、ダブル H- バー、スロット プロファイル

短いリードタイム、経済的な価格、カスタムオーダーの低MOQ

注文情報

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