説明
技術的なパラメーター
製品説明
SMIF ポッドの実証済みの 200 mm ウェーハ SMIF ポッドの性能により、生産歩留まりが向上し、優れたミニ環境制御が実現します。-
低粒子発生、低アウトガス、長寿命を実現する構造材料
パージ対応
丈夫で耐久性のあるポリカーボネート製シェルは、繰り返しの自動取り扱いに耐えます。
静電気拡散性ポリカーボネートのポッドドアにより、ESD 損傷の可能性が大幅に軽減されます。
カセット ホールドダウンは自動ポッド クリーニング システムと互換性があり、所有コストを削減します。
注文情報
| コード | サイズ | パッキング |
| SSPF-WSP-SMIFPOD-200T | 200mm | 1個/袋 |
| SSPF-WSP-SMIFPOD-150T | 150mm | 1個/袋 |
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